Наукоемкие технологии и оборудование в промышленности и строительстве

Статья

Наименование Математическая модель MEMS-акселерометра
Авторы Диденко В. А., асп.
Полено А. Н., асп.
Бондаренко А. Ф., к. т. н., доц.
Раздел Электротехника. Радиотехника
Год 2011 Выпуск 35 Страницы 325 - 333
УДК 621.3+621.37:004.942
Аннотация В работе получена математическая модель MEMS-акселерометра, которая позволяет проводить моделирование систем измерения параметров движения с учетом его динамических свойств. С использованием полученной модели проведены теоретические исследования. Получены коэффициенты передаточной функции MEMS-акселерометра LIS352AX.
Реферат
Ключевые слова MEMS-акселерометр, математическая модель, передаточная функция, точность измерения, амплитудно-частотная характеристика.
Полный текст